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CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

更新時(shí)間： 2024-05-14

產(chǎn)品型號(hào)： MFC-5Z

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

所在地：合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)

產(chǎn)品特點(diǎn)： CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，化學(xué)氣相沉積設(shè)備質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個(gè)7“的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

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技術(shù)參數(shù)

名稱	雙通道	三通道	四通道	五通道
CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器	工作溫度：5~45ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度：5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復(fù)精度:±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度:5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用	工作溫度: 5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	· CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個(gè)7"的觸摸屏上 · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
機(jī)械壓力表	· 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 · 量程:-0.1~0.15 MPa
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	· 內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 · 外部通氣管道為Φ聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護(hù)